Mikrotehnoloogia

Allikas: Vikipeedia
Jump to navigation Jump to search

Mikrotehnoloogia käsitleb niisuguste kehade ja nendest moodustatud struktuuride tootmismenetlusi, mille mõõtmed jäävad vahemikku 0,1–1000 mikromeetrit.

Kui struktuuriüksuste mõõtmed on väiksemad kui 0,1 μm (100 nm), on tegemist nanotehnoloogiaga.

Mikrotehnoloogilisi menetlusi rakendati kõigepealt integraallülituste valmistamisel (vt pooljuhttehnoloogia), alates 1990. aastatest ka mitmes muus valdkonnas, näiteks

Vaata ka[muuda | muuda lähteteksti]